Huolimatta siitä, kuinka huippuluokan siruvalmistus, mukaan lukien Apple A12 ja Huawei Kirin 980, sen valmistusmenetelmät voidaan tiivistää neljään perusprosessiin, jotka ovat "kuviointiprosessi", "ohutkalvoprosessi", "dopingprosessi" ja "lämpökäsittelyprosessi". .
a. Sirun valmistusprosessin graafinen prosessi
Kuviointiprosessi on sarja prosesseja grafiikan muodostamiseksi kiekkoon ja pintakerrokseen. Yhdistämällä yllä oleva lausunto laitteen suunnittelusta, kuviointiprosessi on olennaisesti "reikien kaivaminen" (kaiverrettu) "perustalle" (kiekko). Eclipse), prosessi, jossa määritellään eri "rakennusten" (laitteiden) "käyttöaste" (koko ja sijainti). Tästä prosessista on tullut sirujen valmistuksen kriittisin prosessi, koska se määrittää laitteen avaimen - koon (eli mitä me usein kutsumme xx nanometrin siruiksi). Graafisen käsityön avainsana on "kaiverrus piirustuksen mukaan". Usein kuulemamme naamiot ja fotolitografia kuuluvat tähän perusprosessiluokkaan.
b. Ohutkalvoprosessi sirun valmistusprosessissa
Ystävät, jotka osaavat englantia, voivat nähdä sen elävämmin tämän vanhurskauden englanninkielisestä nimestä. Tämän käsityön ydinsisältö on kerrosten lisääminen. Tätä prosessia ei ole vaikea ymmärtää. Sirujen valmistus itsessään on "rakentamista", joten kun tontti on rajattu, rakennuksen rakentaminen on ehdottomasti kustannustehokkaampaa kuin bungalowin rakentaminen, ja "rakentamisen" tehtävä on myös vahvempi. Aivan kuten rakennuksessa voidaan käyttää erilaisia kerroksia erilaisten funktionaalisten väliseinien aikaansaamiseksi ja tilankäytön laajentamiseksi, ohutkalvoprosessi voi lisätä kerroksia sirun "rakennukseen" ja tarjota jokaiselle kerrokselle kalvot johtamista, eristämistä, lisäkuviointia jne. . Ohutkalvotekniikan avainsana on "kerros-on-demand". Haihdutus, sputterointi, CVD/PCD, galvanointi ja muut prosessit, joita näemme usein, kuuluvat tähän luokkaan.
c. Sirun valmistusprosessin dopingprosessi
Rakennus, maa-alueen rajaamisen ja talon rakentamisen yhteydessä tarvitsemme myös erilaisia tukiputkistoja sekä vesi- ja sähköohjauslaitteiden ja erilaisten toiminnallisten laitteiden asennuksen vastaavien toimintojen toteuttamiseksi. Integroiduissa piireissä luotamme erilaisiin laitteisiin, joita ei voida toteuttaa vain "vahvistetulla sementillä" (kiekkoja ja kalvoja), vaan niihin on rakennettava joitain "ohjausyksiköitä". Tämä on dopingprosessi, jossa muodostetaan elektroneja sisältävä alue (N-tyypin kantajat) tai reikiä (P-tyypin kantoaineet) kiekon pintakerrokseen PN-liitoksen muodostamiseksi - inhimillisesti sanottuna, se tapahtuu "arkkitehtuurin kautta" Valvontalaitteiden (dopingmateriaalin) lisääminen (siruun) rakennuksen täydellisen toiminnan toteuttamiseksi, avainsana on "ohjaus". Tähän luokkaan kuuluvat prosessit, kuten ioni-istutus, lämpödiffuusio ja solid-state diffuusio.
d. Sirun valmistusprosessin lämpökäsittelyprosessi
Talon rakennusprosessissa tulee aina olemaan kuivaus-, jäähdytys- ja tuuletusprosesseja erilaisten materiaalien lisäämisen jälkeen. Näiden prosessien ydintarkoituksena on stabiloida nämä lisätyt materiaalit mahdollisimman pian, esimerkiksi kuivaamalla erilaisia liimoja, jotta ne tarttuvat toisiinsa. Esineet eivät putoa myöhemmän käytön aikana. Tämän tyyppistä prosessia, joka olennaisesti lämmittää tai jäähdyttää materiaalia tietyn tuloksen saavuttamiseksi, kutsutaan kiekkojen valmistuksessa lämpökäsittelyprosessiksi, ja avainsana on "stabiloinnin saavuttaminen".











