Me kaikki tiedämme piistä. Sirunvalmistuksessa käytetty pii on kuitenkin joskus yksikiteistä piitä ja joskus monikiteistä piitä. Monikiteisen ja yksikiteisen piin suorituskyky eroaa merkittävästi. Joten mitkä ovat heidän edut? Mitkä ovat heidän sovelluksensa? Ja miten ne tuotetaan?
Mikä on kristalli?
Mikä on kristalli?
Kite on kiinteä, jossa atomit, ionit tai molekyylit on järjestetty alueellisesti säännöllisessä kuviossa tietyn jaksollisuuden mukaisesti, mikä muodostaa säännöllisen geometrisen muodon.
Yleisiä kiteisiä materiaaleja ovat:
Metallikiteitä: kuten rauta, kupari, kulta ja hopea.
Ionikiteitä: NaCl, cuso4 jne.
Dielektriset kiteet: piisoksidi, piinitridi jne., Jotka voivat olla kiteisiä tai amorfisia.
Puolijohdekiteet: kuten pii ja germanium.
Mitkä ovat yhden kidekipun ja monikiteisen piin?
Yksi kide viittaa materiaaliin, jossa atomit, ionit tai molekyylit on järjestetty tasaisesti päästä toiseen, ylläpitäen samaa suuntausta. Koko kristallilla on vain yksi kidesuunta, eikä se sisällä viljarajoja.
Polycitetal viittaa materiaaliin, joka koostuu monista pienistä jyvistä (yksittäisistä kiteistä), jokaisella on oma ainutlaatuinen kristallisuuntainen suunta. Nämä jyvät näyttävät olevan satunnaisesti suuntautuneita makroskooppiseen asteikkoon, mutta kunkin viljan suunta on johdonmukainen.
Yksikitepidossa on vain yksi kidesuunta, tyypillisesti<100>, <110>tai<111>. Eri kidesuuntauksilla on vaihtelevia vaikutuksia prosesseihin, kuten etsaukseen, hapettumiseen ja ionin implantointiin puolijohteiden valmistuksen aikana, mikä tekee asianmukaisesta suunnasta tärkeän sirun suorituskyvyn optimoimiseksi.
Monokiteisen piin ja monikiteisen piin ominaisuuksien vertailu
Sähköiset ominaisuudet: Polykystallisessa pipoissa on hieman ala -arvoisia sähköisiä ominaisuuksia verrattuna monokiteiseen piisiin, pääasiassa kantaja -sirontakeskuksista, jotka on muodostettu monikiteisen piin rajan rajoissa. Monokiteisen piin silikonilla on kuitenkin korkeampi elektronien liikkuvuus johtuen viljarajoista ja rakenteellisesta jatkuvuudesta.
Ulkonäkö: Monokiteinen pii muistuttaa peiliä kiillotuksen jälkeen. Tämä johtuu siitä, että kun valo iskee monokiteisen piin, se heijastaa valoa samalla tavalla ja suuntaan. Sitä vastoin, kun valo iskee monikiteisen piin, kukin kidekaja heijastaa valoa eri tavalla, mikä johtaa rakeiseen ulkonäköön.
Monokiteisen ja monikiteisen piin sovellukset siruissa?
Monokiteinen pii
1. Monokiteisen piin kiekot, käytettyinä substraattina
2. Jotkut sirutuotteet vaativat ohuita monokiteisiä piikerroksia
1. Yhdistettynä piisoksidia eristävään kerrokseen, monikiteinen pii on avainkomponentti, joka hallitsee virran virtausta transistoreissa.
2. Sitä voidaan käyttää aurinkokennoissa ja nestekiteissä.
3. uhrauskerroksena. MEMS -valmistuksen aikana uhrauskerrosta käytetään väliaikaisen rakenteen luomiseen, joka myöhemmin poistetaan pysyvän rakenteen vapauttamiseksi.
Kuinka yksikiteistä piitä ja monikiteistä piitä tuotetaan?
Jos sitä käytetään substraattina,
Yksikiteistä piitä tuotetaan yleensä käyttämällä CZ- tai FZ-menetelmää. CZ -menetelmä on aiemmin otettu käyttöön:
Johdanto kokonaiseen CZ-prosessiin yksikristalli piin tuottamiseksi.
Monikiteinen pii puolestaan käyttää lohkovalu-, FBR- ja Siemens -menetelmiä.
Jos kalvonmuodostumista käytetään sirussa,
Yksikiteinen pii vaatii CVD-epitaksia, molekyylisäteen epitaksia ja muita menetelmiä. Monikiteinen pii toisaalta voidaan tuottaa käyttämällä CVD-, PVD- ja muita menetelmiä.