Mitä indikaattoreita tulisi testata ennen kuin yksikiteisiä piikiekkoja lähetetään?

Jul 05, 2024 Jätä viesti

Otetaan esimerkkinä 4-tuumainen yksikiteinen piikiekko:

news-622-757

Kuten yllä näkyy:

 

Suuntautuminen: <100>osoittaa piikiekon kristallografisen orientaation. Tällä suuntauksella on tärkeä vaikutus kiekolla olevien laitteiden elektronisiin ominaisuuksiin ja valmistusprosessiin.

Tyyppi:P (Boron) yhdellä primäärilevyllä tarkoittaa, että kiekko on P-tyyppistä piitä, eli se on seostettu boorilla ylimääräisten reikien luomiseksi. "yksi primaaritaso" viittaa kiekon reunan muotoon, joka auttaa tunnistamaan kidehilan suunnan.

Resistanssi:1-10 Ohm-cm on kiekon ominaisvastus.

Arvosana:Prime / CZ Virgin osoittaa piikiekon laadun ja puhtauden. "Prime" on korkein laatu ja sitä käytetään erittäin tarkkoihin sovelluksiin; "CZ" tarkoittaa CZ-menetelmällä valmistettuja yksikiteisiä piikiekkoja.

Pinnoite:Ei mitään, natiivioksidi tarkoittaa vain sitä, että kiekon pinnalla ei ole ylimääräistä kalvokerrosta, vain luonnollisesti muodostunut piidioksidikerros.

Paksuus:525 µm (+/- 20 µm) on kiekon paksuus, ja virhe hallitaan plus tai miinus 20 mikronin sisällä. Paksuuden tasaisuus on kriittinen myöhemmissä käsittelyvaiheissa.

Halkaisija:100mm määrittää kiekon halkaisijan.

Loimi:<=30µm, the lower the warp, the better the wafer quality.

Kumarrus: <=30µm, similar to warping, it is also a measure of wafer flatness.

Pääasemointireuna:32.5 +/- 2.5mm osoittaa kiekon pääasemointireunan pituuden, jota käytetään kiekon suunnan paikantamiseen. Joillakin kiekoilla on myös toissijaiset sijoitusreunat, kuten alla on esitetty:

news-220-220

Pinnan karheus:0.2 - 0.3nm, kiillotettu toinen puoli tarkoittaa, että piikiekko on yksikiillotettu piikiekko ja pinnan karheuden yksikkö on nanometriä.