
Piikiekot ovat yksi elektroniikkateollisuuden tärkeimmistä raaka-aineista, ja niitä käytetään pääasiassa integroitujen piirien, kondensaattoreiden, diodien ja muiden komponenttien valmistukseen. Integroidut piirit ovat pieniä piirejä, jotka koostuvat suuresta määrästä peruskomponentteja, kuten transistoreja, kondensaattoreita, vastuksia jne., joita voidaan käyttää erilaisissa elektronisissa laitteissa, kuten tietokoneissa, viestintälaitteissa ja viihdelaitteissa. Puolijohdepiikiekot ovat yksi integroitujen piirien valmistuksen ydinmateriaaleista. Puolijohdepiikiekkojen koko on jaettu halkaisijan mukaan 2 tuumaan (50,8 mm), 4 tuumaan (100 mm), 6 tuumaan (150 mm), 8 tuumaan (200 mm) ja 12 tuumaan (300 mm). Eri puolijohdetuotteiden mukaan käytetään erikokoisia piikiekkoja ja prosesseja.
Puolijohteiden piikiekkojen kokoluokitus
|
Piikiekon koko |
Paksuus |
Alue |
Paino |
Vastaava prosessi |
|
|
2 tuumaa |
50,8 mm |
279um |
20,26 cm² |
1.32g |
5um |
|
4 tuumaa |
100 mm |
525um |
78,65 cm² |
9.67g |
3um-0.5um |
|
6 tuumaa |
150 mm |
675um |
176,72 cm² |
27.82g |
0.35um-0.13um |
|
8 tuumaa |
200mm |
725um |
314,16 cm² |
52.98g |
90mm-55mm |
|
12 tuumaa |
300mm |
775279um |
706,12 cm² |
127.62g |
28mm-3mm |
Suurikokoisten piikiekkojen edut • Yhdelle piikiekolle voidaan valmistaa enemmän siruja: Mitä suurempi kiekko, sitä vähemmän jätettä jää reunoihin ja kulmiin, mikä parantaa piikiekon käyttöastetta ja alentaa kustannuksia. Esimerkkinä 300 mm:n piikiekkojen käyttöpinta-ala on kaksi kertaa suurempi kuin samassa prosessissa käytettävien 200 mm:n piikiekkojen käyttöpinta-ala, mikä voi tarjota jopa 2,5-kertaisen sirumäärän tuottavuuden edun. • Parannettu piikiekkojen kokonaiskäyttö: Suorakaiteen muotoisten piikiekkojen valmistaminen pyöreillä piikiekoilla tekee joistakin piikiekon reunan alueista käyttökelvottomia, kun taas piikiekon koon kasvu pienentää käyttämättömien reunojen häviösuhdetta. • Parannettu laitekapasiteetti: Edellyttäen, että perusprosessin kulku: ohutkalvopinnoitus → fotolitografia → etsaus → puhdistus ja muut peruskehitysolosuhteet pysyvät ennallaan, sirun keskimääräinen tuotantoaika lyhenee, laitteiden käyttöaste paranee ja Yhtiön tuotantokapasiteettia laajennetaan.
Prosessit ja puolijohdetuotteet, jotka vastaavat erikokoisia puolijohdepiikiekkoja
|
Puolijohdepiikiekon koko |
Käsitellä |
Puolijohdetuotteet |
Sovelluskaavio |
|
6 tuumaa ja alle |
0.35um ja enemmän |
Diodit, transistorit, tyristorit jne. Erilaisia erillisiä laitteita |
|
|
8 tuumaa |
90nm ~ 0,35 um |
Anturisirut, ohjainsirut, virranhallintasirut, RF-sirut jne. |
|
|
12 tuumaa |
90nm ja alle |
CPU, GPU, Tallennussiru, FPGA, ASIC jne. |
|












